Профилометр универсальный uSTEP 300

Профилометр универсальный uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции.

Профилометр позволяет проводить диагностику пластин различного диаметра вплоть до 300 мм включительно. Система позиционирования пьезосканера работает с точностью до 25 нм в латеральной плоскости образца и анализирует образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа.

Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 0.7 А. Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ. Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле.

Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности. Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости. Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом.